固态射频源

【主要特点】

• 整机具备点频13.56MHz，宽频带3-26MHz，50-100MHz，100-150MHz-1kW稳定功率输出

• 既具备独立射频源功能，又具备与等离子体天线的自动匹配功能

• 用户界面控制方式，LCD显示屏全面且直观的操控方式

【典型应用】

• 等离子体发生器、射频溅射、刻蚀、镀膜和长波发生器

• 医疗设备，共振鸟笼天线等

【产品主要参数】

• 频率包含点频13.56MHz，宽频带3-26MHz，50-100MHz，100-150MHz，频率稳定度±0.005%

• 功率等级：<1kW，功率稳定度小于±0.1%

• 整机效率：≥70%

• 谐波抑制：≥20dBc

• 冷却方式：风冷+水冷

• 尺寸：4U

• 自动匹配性能：<1s